Масс-спектрометрический комплекс МКМ-1

Масс-спектрометрический комплекс МКМ-1 предназначен для прецизионного контроля состава атмосферы в подкорпусном пространстве микросхем и полупроводниковых приборов.

Основные параметры МКМ-1:

Полный цикл измерения МКМ-1 вне зависимости от размеров микросхемы составляет не более 1,5 часов.* Полный цикл измерения включает в себя подготовку микросхемы при атмосферном давлении (дегазацию внешней поверхности микросхемы от паров воды), загрузку микросхемы через шлюз камеры предварительной откачки с последующей откачкой до вакуума 1х10^-6 мм.рт.ст., перемещение микросхемы с помощью магнитного транспортёра в область высокого вакуума (1х10^-8), подогрев микросхемы ИК-излучением в течение 30 минут, вскрытие (разгерметизацию) корпуса микросхемы в вакууме и непосредственно анализ и определение концентрации паров воды, находившихся в подкорпусном пространстве ИС.

Точность измерения при дифференциальном методе составляет 0,1%об., при интегральном - 0,02%об.

МКМ-1 одновременно измеряет процентное содержание воды, азота, кислорода и аргона в атмосфере подкорпусного пространства микросхем.
Объём подкорпусного пространства микросхем от 0,2 мм³ до 50 см³.
МКМ-1 поставляется в комплекте с методикой калибровки и поверки по микрокапсулам интегральным методом. Оператор может осуществлять калибровку или поверку прибора в любой момент, заправляя микрокапсулы воздухом известной влажности.** Время калибровки прибора 3-3,5 часа. Необходимая периодичность калибровки - раз в 4 месяца.
Опция: Применение прибора для проверки микросхем на микротечи.

Загрузка микросхемы через шлюз камеры предварительной откачки

Устройство разгерметизации микросхем в зоне высокого вакуума

Достоинствами прибора по сравнению с аналогами являются следующие характеристики:

Прибор не требует водяного охлаждения, азота, трёхфазной сети.
МКМ-1 может работать как независимый газоанализатор.
Работа с прибором не требует специальных навыков, так как МКМ-1 профилирован под задачу и выполняет её в автоматическом режиме за исключением самой процедуры разгерметизации ИС, для выполнения которой нужно участие оператора.

Примечания:

* Минимизировать время измерения позволяет применение дифференциальной методики.

** Методика проведения измерений и режим работы прибора позволяют транспортировать пары воды из подкорпусного пространства микросхем в область ионизации масс-спектрометра аналогично газовым компонентам, что позволяет вычислять процентный состав с помощью стандартных калибровок.